日本崛场 化学药液浓度计 CS-600F

日本崛场 化学药液浓度计 CS-600F日本崛场 化学药液浓度计 CS-600F概要CS-600F实现了更高标准的功能,旨在更好的适应生产制造,实现半导体湿法工艺对化学药液浓度更精准的管理。比如在多种不同应用中的在线监测高温化学药液,更安全的减少停机时间操作,更轻便的尺寸节约占地面积。特征减少尺寸,实现更灵活的布局CS-600更为轻巧,高度减少36%,体积减少40%,相比较传统型号(CS-100F

日本崛场 化学药液浓度计 CS-600F

日本崛场 化学药液浓度计 CS-600F

概要

CS-600F实现了更高标准的功能,旨在更好的适应生产制造,实现半导体湿法工艺对化学药液浓度更精准的管理。比如在多种不同应用中的在线监测高温化学药液,更安全的减少停机时间操作,更轻便的尺寸节约占地面积。

特征

  • 减少尺寸,实现更灵活的布局

CS-600更为轻巧,高度减少36%,体积减少40%,相比较传统型号(CS-100F1系列),槽体占地减少46%。光源器件与主体监测器件可远离槽体安装,更灵活的适应清洗设备的布局。

  • 高稳定性,在线监测高温化学药液(20 ~ 80℃)

全新的光纤系统及提升后的处理算法实现在线监测高精端行业中湿法制程所需的高温化学药液浓度。此浓度可避免冷却药液样本的步骤。HORIBA CS-600F提供了高稳定的监测能力,更有效,更精确的实现了化学药液管理。

  • 显著降低背景校正频率

与传统型号(CS-100F系列)相比较,CS-600F显著降低了背景校正频率,减少停机工作时间,很大程度上提高产出。

  • 一台浓度计可至多测量6种化学药液(药液种类或药液量程)

一台浓度计至多可监测6种化学药液(药液种类或药液量程),药液种类或量程可以任意指定,CS-600F系列可支持绝大多数的监测需求。

  • 至多可输出6种成份的浓度值(串行输出)

相比于传统型号(CS-100F系列)的4种浓度值输出,此款新型号可至多输出6种成分的浓度值。


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