日本崛场 TMAH浓度计HE-960H-TM

日本崛场 TMAH浓度计HE-960H-TM日本崛场 TMAH浓度计HE-960H-TM概要适用于显影液中TMAH的浓度管理HE-960TM可精确测量半导体和液晶生产中光阻显影药液制程中主要成份TMAH (四甲基氢氧化铵)的浓度。FES-510系列专用传感器具有宽泛的量程和高耐药性。4-极式炭质传感器具有显著的耐药性特征大量程适用自动小数点位调整能够测量的TMAH量程从0.000至10.00%。自

日本崛场 TMAH浓度计HE-960H-TM

日本崛场 TMAH浓度计HE-960H-TM

概要

适用于显影液中TMAH的浓度管理HE-960TM可精确测量半导体和液晶生产中光阻显影药液制程中主要成份TMAH (四甲基氢氧化铵)的浓度。FES-510系列专用传感器具有宽泛的量程和高耐药性。4-极式炭质传感器具有显著的耐药性

特征

  • 大量程适用

自动小数点位调整能够测量的TMAH量程从0.000至10.00%。

  • 自动显示范围切换

从高至低浓度显示范围自动切换。当维持有效的电导率分辨率是也可使用该产监测变化

  • 可测3种数值:TMAH浓度值、电导率计和温度

当基于相关温度特性数据补偿温度时测量TMAH浓度。本机也可用于测量其它化学药液的电导率。

  • 耐药性4-极炭质传感器

采用了新型的使用高耐药性玻璃碳材料的FES-510系列4-极式流通型传.

  • 4-通道传送输出

本机配有4个输出通道,所以可分别用于TMAH温度、电导率和温度。可从2个类型的输出电流中进行选择:4至20 mA DC, 或 0 至 20 mA DC.

  • 24 V DC 电源


  • RoHS兼容


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