小野 电容式非接触式测厚仪 CL-5610 系列

小野 电容式非接触式测厚仪 CL-5610 系列小野 电容式非接触式测厚仪 CL-5610 系列CL-5610 / 5610S是一种非接触式测厚仪,通过连接到间隙检测器VE系列传感器来测量导体,半导体和绝缘体的厚度。最多可以连接两个VE系列传感器。它也可以用作2通道间隙测量仪。 CL-5610具有内置传感器放大器,并使用直接连接到测厚仪主体的VE传感器。适用于台式机的离线测量(传感器和主机之间

小野 电容式非接触式测厚仪  CL-5610 系列

小野 电容式非接触式测厚仪  CL-5610 系列

CL-5610 / 5610S是种非接触式测厚仪,通过连接到间隙检测器VE系列传感器来测量导体,半导体和绝缘体的厚度。多可以连接两个VE系列传感器。它也可以用作2通道间隙测量仪。

 

CL-5610具有内置传感器放大器,并使用直接连接到测厚仪主体的VE传感器。适用于台式机的离线测量(传感器和主机之间的电缆为1.5 m,不能延长)。

CL-5610S使用个单独的传感器放大器供外部使用,并将VE传感器与测厚仪主体分开。主机和外部放大器之间的电缆长度标准为2.5 m,并且可选配长10 m的电缆。当将测厚仪主体安装在远离传感器安装位置的位置时,例如将其安装在设备中时,它是合适的。

丰富的测量项目可以测量
厚度和间隙。另外,可以分别显示偏差值,大值,小值和大宽度值(大-小)的计算值。

 

除导体和半导体外,还可以测量绝缘体的厚度
CL-0300绝缘体测量功能(可选)可以测量塑料薄膜和玻璃板等绝缘体的厚度。

 

即使对于无法完全获得导电性的样品,也可以进行稳定的厚度测定,将样品
保持在涂有氟类薄膜的工作台上时,很难在样品与主体之间建立导电性(常见)。到目前为止,必须通过大面积接触样品来确保稳定性,但是使用CL-0210高阻抗接地模式功能(可选)可以减小面积。而且,可以在同区域中确保更高的稳定性。

 

使用VE-2011 / 5010/5011 的高分辨率计算功能选件(CL-0200)* 1 * 1时,低显示分辨率为0.02μm
VE-5010 / 5011是CL-0201的测量范围更改选件,适用于将测量范围设置为20至200μm的情况。

 

多可以存储6种类型的传感器校准值

CL-5610系列多可以存储六个传感器校准信息,因此您可以根据测量范围和分辨率选择和使用合适的传感器。

 

数据可以连续导入到PLC或PC

提供三种类型的数据输出功能:模拟电压输出,BCD输出和RS-232C。您可以根据录制设备选择输出。模拟输出和BCD输出可以以20 ms的数据更新间隔取出数据。通过在移动样本的同时进行测量,还可以测量检测片材厚度不均所需的连续厚度值。

*模拟输出需要输出功能选项(CL-0110),而BCD输出需要BCD输出功能选项(CL-0120)

 

该仪器可以从外面控制

为了在生产/检查线上进行自动测量,必须从外部控制仪器。CL-5610标配接触控制端子和RS-232C端子,因此可以通过PLC或PC轻松控制。

 

可通过比较器功能进行在线异常值监视(安装了CL-0110输出功能选件时)

 



测量样本示例 

导体和半导体

绝缘子

需要清洁度的硅片,钢板,铝板,硬盘,印刷电路板和其他金属板,柔软的材料,镜面产品和容易刮擦的产品

塑料,例如玻璃,聚乙烯和聚丙烯。
(测量完全由单材料制成的具有均匀特性的薄物体。)

*除上述测量样品外,请与我们联系以测量中间材料和复合材料。

测量方式

测量导体和半导体时

测量绝缘子时(可选)

 

青岛澳海源

 
在传感器测量范围内并行安装两个传感器和DUT,并在CL-5610系列上设置传感器间隔(Gs)。将DUT插入传感器A和B之间,测量每个传感器与DUT之间的间隙(Ga,Gb),然后确定厚度(t)。

 

青岛澳海源

并行安装传感器和导体(参考地板),并将传感器间隙测量值(此时的电压输出Gs)设置为CL-5610系列。在对象插入到所述传感器和所述导体(参考层)之间进行测量,所述传感器的电压输出是Ga和该传感器电压变化和相对介电常数的ε- ř从(t)和确定的厚度。

*可测量的绝缘体厚度应约为传感器和参考地板之间的GAP值的1/3或更小。


测量例




外形规格

测量目标导体,半导体,绝缘体* 1
* 1 CL-0300需要绝缘体测量功能选件。
传感器输入2通道(A,B)电容式传感器

测量项目

  • 被测物体的厚度(导体,半导体,绝缘体<选件CL-0300>)

  • 传感器A与测量目标之间的间隙(导体,半导体)(A)

  • 传感器B与测量目标(导体,半导体)之间的间隙(B)

  • A和B之间的差异(A-B)

显示方式

  • ABS:以绝对值显示厚度或间隙

  • Dev:显示参考值的变化

  • 在任何时间段内(启动期间)大值(MAX),小值(MIN),大值-小值(RANGE)

适用的传感器和显示分辨率

通过与新型VE系列电容式间隙检测器结合使用,可以获得以下显示分辨率。

感应器类型测量范围
(μm)
分辨率(μm)
标配
安装了CL-0200高分辨率计算功能选件时
VE-201120-2000.10.02
VE-501050至500
20至200 * 1
0.10.05 / 0.02 * 1
VE-5011
VE-1020100至10000.10.1
VE-1021
VE-1520150至15000.50.2
VE-3020300-30001个0.5
VE-3021
销售结束
VE-8020800至8000两个1个
VE-8021

* 1:对于VE-5010 / 5011,可使用CL-0201测量范围更改选项将测量范围指定为20至200μm。此时,安装了高分辨率选件时的显示分辨率为0.02μm。
*在进行绝缘子测量时,请使用厚度约为测量范围的1/3作为测量指南。
例)使用VE-1020时,绝缘体的厚度约为350μm以下。

准确度±0.15%/ FS(标准)
±0.12%/ FS(安装了CL-0200高分辨率计算功能选件时(VE-8020 / 8021除外))
精度保证的温度范围23℃±2℃
展示架荧光灯管
测量结果的显示可以在1项(大写)和2项(小写)之间切换

参数设定

使用面板上的各种键,可在内部存储器中设置测量和计算所需的各种参数。即使通过断电存储器关闭电源,这些设置也会保留。

采样时间

20毫秒

平均化移动平均:1到64倍
介面RS-232C:可以远程控制本机并导入测量数据。可以在DPU-414打印机上打印(另售)
BCD输出功能
(选件:CL-0120)

将测量结果输出为6位并行BCD
输出方法:集电极开路输出
输出数据:GAP-A,GAP-B,THICK,AB,DISP2从显示值中选择
数据更新时间:20 ms
连接电缆:AA-8207(3 m ,侧打开)

遥控功能

可以从外部执行计算功能的启动/停止和厚度校准等操作

■远程端子的引脚排列和输入信号

电源供应当输入5至24
VDC并从外部提供6 VDC或更高电压时,请插入个电阻。
开始与START键功能相同
ç停止停止计算模式
d暂停与暂停键功能相同
Ë卡里布
仅对已登录
测量对象基准数据的校准和导体测量有效。不能更改测量对象基准的厚度。
˚F开始状态主动切换到计算模式和计算中断模式
g ^+ 5V输出输出+5 V(MAX:0.3 A)
^ h共同点连接0 V

*适用的连接器:R03-PB8M(多治见无线电制造)

SYNC功能

可以并行操作多个CL-5610 / CL-5610S单元(每个主单元多2个单元)* 1

电源供应

交流100V-240V 50/60 Hz

操作环境(仅限主机)

温度:+ 23°C±2°C(精度保证范围),0°C至+ 40°C(工作范围)
湿度:20至80%RH(无结露)

外形尺寸

210 (W)x 99(H)x 275(D)毫米(CL-5610 / 5610S机身,不包括突起)
56(W)x 42.4(H)122(D)毫米(CL-5610S的转换器突起不包括在内

弥撒

约4.2公斤(CL-5610 / 5610S机身)
约0.5公斤x 2(用于CL-5610S CL-0420的转换器)


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