542系列 高精度光栅式测微仪542-715DC LGH-1010-B-EH

● 在10mm的宽范围内实现0.005μm或0.01μm的高分辨率和高精度，可与激光干涉仪相媲美。

● 紧凑的机身可以极大地促进设备本身的小型化，不仅是测量高精度零件和高精度定位和控

制设备的长度测量传感器的理想选择，也适于用作测量设备的标准量规。

● 另有低测力规格产品：根据用途可以选择低测力规格产品，可以测量容易变形的工件及高

性能胶片等。

● LGH系列是带有专用计数器的套装规格。

● 配备新采用的光电式反射型线直线

栅尺，以低廉的价格实现了0.01μm

的高分辨率、示值误差0.2μm和

10mm的宽测量范围。

● 响应速度提高到以往产品的2.8倍

(250mm/s⇒700mm/s)，兼顾高精

度和高速性。