石英振动体清洗机[高频率]｜W-357-1MQG-SKC

石英振动体类型

下一代清洗技术，实现低损害和高清洁度

在这种方法中，通过在石英振动体上叠加超声波对半导体晶圆进行清洗。

与批量清洗和流水清洗相比，可以减少化学品的使用量，由于只有石英玻璃与液体接触，没有垫片等橡胶材料与液体接触，因此能保持较高的清洁度。

石英振动体有不同的形状，以适应不同的用途，能够根据需要进行有效的清洗，如低损伤清洗、大面积清洗、斜面（边缘表面）和缺口（晶圆边缘表面的缺口）的清洗等。

特长

对具有细微结构的晶片进行低损伤清洗

■通过在石英振动元件上叠加超声波对半导体晶片进行清洗。

将超声波振动从石英振动元件通过化学溶液传播到半导体晶片上，接触区的化学溶液振动，加速去除表面污染。

■清洁度高，对半导体晶圆的损害最小。

与使用橡胶材料（如垫片）的设备相比，使用石英与化学溶液接触，可以确保清洁，而不会有橡胶溶出。

■震荡器冷却功能通过用气体（如氮气）冷却震荡器，可以实现稳定的连续工作，没有频率波动。

冷却还能确保没有温度的突然变化，从而延长使用寿命。

用途

胶体残留物的清除

封边和灰化后的聚合物清除

栅电极极清洗

CMP后的清洗